PRODUKTINNOVATION
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Fries Research & Technology
Vollautomatisierte Anlagen zur Untersuchung von Halbleiter- und MEMS-Wafern optimiert
Effizienz und Durchlaufzeiten in Produktionsprozessen von Wafern
verbessert die Fries Research & Technology GmbH (FRT) mit
vollautomatisierten Anlagen zur metrologischen Wafervermessung. Eine
neu entwickelte Software-Plattform ermöglicht die
vollständige Automatisierung im Frontend- und Backendbereich.
Durch passgenaue modulare Hardware können die Anlagen für
unterschiedliche Wafergrößen und –formen sowie alle
gängigen metrologischen Messaufgaben ausgelegt werden. Speziell
zur Untersuchung von nicht-SEMI-konformen Wafern, wie aus dem
MEMS-Bereich, steht nun eine umfassende Lösung bereit. Damit
werden z.B. Pre- und Fine-Alignment, genau wie bei Standardwafern, nun
direkt und vollautomatisch auf dem Messgerät durchgeführt.
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Zum Thema wurden Productronica 2007 Aussteller gefunden: |
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„Diese Weiterentwicklungen sind – wie weitere Innovationen
– das Ergebnis umfangreicher F & E Aktivitäten im
vergangenen Jahr“, fasst Geschäftsführer Dr. Thomas
Fries zufrieden zusammen. Erste Erfolge sind die Auslieferungen zwei
vollautomatisierter Anlagen an namhafte europäische Hersteller von
MEMS- und Halbleiterwafern in diesem Monat. Für 2008 erwartet FRT
aufgrund der Investitionen in den Bereichen Technologie, Sales und
Global Service ein Umsatzplus von 30 Prozent.
Umfangreiche metrologische Qualitätskontrolle im ProduktionsprozessAufgrund zunehmender Miniaturisierung und Anforderungen an die
Prozessqualität ist es für Halbleiter- und MEMS-Hersteller
sowohl im Frontend als auch im Backend bei immer mehr
Produktionsschritten notwendig, Wafer und deren Strukturen metrologisch
genau zu überprüfen.
Für den Frontend-Bereich bietet FRT mit der MFE-Serie (Metrology
for Front End) automatisierte Messtechnik, die über das
SECS/GEM-Interface nahtlos in bestehende Produktionssteuerungssoftware
eingebunden wird. Die Anlagen bestehen aus einem Minireinraum der
Klasse 1, welcher mit bedarfsgerechter optischer Messtechnik und
wahlweise AFM ausgestattet ist. Ein vollautomatisches Robotiksystem
nimmt Wafer aus FOUP- und/oder SMIF-Wafercarriern entgegen und
führt ein automatisches Alignment mit höchster Präzision
für die anschließende Messung durch. Der hohe
Automatisierungsgrad und die Qualität der metrologischen
Messanlagen von FRT stellen kurze Durchlaufzeiten und jederzeit
reproduzierbare Ergebnisse sicher.
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