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Erste Graphen-Transistoren aus AMO’s NanoFutur-Projekt „ALEGRA“
Innerhalb des zukunftsweisenden Projektes „ALEGRA – Alternative Werkstoffe für die NanoElektronik: Graphen“ gelang es der Nachwuchsforschergruppe um Dr. Max Lemme ein Transistor-ähnliches Feldeffekt-Bauelement mit einem Top-Gate aus einer Monolagen-Graphenschicht herzustellen. Die Forscher erzielten eine deutliche Verbesserung der Ladungsträgerbeweglichkeiten gegenüber herkömmlichen Silizium und SOI MOSFET’s.
Im Rahmen des ALEGRA-Projektes werden neue Herstellungsverfahren für planares Graphen erforscht. Dieses neue Materialsystem für die Nanoelektronik bietet im Zusammenspiel mit der etablierten CMOS-Technologie das Potenzial, zukünftige nanoelektronische Bauelemente zu revolutionieren. Für sein Projekt erhielt Dr. Max Lemme im letzen Jahr den Nachwuchsforscherpreis NanoFutur des BMBF.
Das bekannte Mooresche Gesetz diktiert der Halbleitertechnik bereits seit mehreren Jahrzehnten ehrgeizige Innovationszyklen und schuf dabei die grundlegende CMOS Technologie für die heutige globale Informationsgesellschaft. Im Gegensatz zu den letzten Jahrzehnten werden in Zukunft Innovationen in der Siliziumtechnologie voraussichtlich durch die Integration neuer Funktionalitäten und Materialien realisiert. Kohlenstoff ist dabei ein heißer Kandidat, zum Beispiel in Form von so genannten Kohlenstoff Nanoröhrchen - oder eben Graphen.
Bei dem hier untersuchten Graphen-Feldeffekt-Bauelement, einem Transistor aus monolagigem Kohlenstoff, wurde bis auf die Graphenablagerung ein konventioneller CMOS-kompatibler Prozess angewandt. Neben der beobachteten Steigerung der Beweglichkeit der Ladungsträger gegenüber Silizium wurde hier erstmalig ein zweites Transitor-Gate auf dem Graphen-Film platziert. Die bei AMO erzielten Ergebnisse zeigen ein enormes Potential von Graphen für zukünftige elektronische Bauteile auf.
Erste experimentelle Details werden im April 2007 in den renommierten IEEE Electron Device Letters unter dem Titel „A Graphene Field-Effect Device“ von Dr. M.C. Lemme et al. veröffentlicht.
Im Rahmen des ALEGRA-Projektes werden neue Herstellungsverfahren für planares Graphen erforscht. Dieses neue Materialsystem für die Nanoelektronik bietet im Zusammenspiel mit der etablierten CMOS-Technologie das Potenzial, zukünftige nanoelektronische Bauelemente zu revolutionieren. Für sein Projekt erhielt Dr. Max Lemme im letzen Jahr den Nachwuchsforscherpreis NanoFutur des BMBF.
Das bekannte Mooresche Gesetz diktiert der Halbleitertechnik bereits seit mehreren Jahrzehnten ehrgeizige Innovationszyklen und schuf dabei die grundlegende CMOS Technologie für die heutige globale Informationsgesellschaft. Im Gegensatz zu den letzten Jahrzehnten werden in Zukunft Innovationen in der Siliziumtechnologie voraussichtlich durch die Integration neuer Funktionalitäten und Materialien realisiert. Kohlenstoff ist dabei ein heißer Kandidat, zum Beispiel in Form von so genannten Kohlenstoff Nanoröhrchen - oder eben Graphen.
Bei dem hier untersuchten Graphen-Feldeffekt-Bauelement, einem Transistor aus monolagigem Kohlenstoff, wurde bis auf die Graphenablagerung ein konventioneller CMOS-kompatibler Prozess angewandt. Neben der beobachteten Steigerung der Beweglichkeit der Ladungsträger gegenüber Silizium wurde hier erstmalig ein zweites Transitor-Gate auf dem Graphen-Film platziert. Die bei AMO erzielten Ergebnisse zeigen ein enormes Potential von Graphen für zukünftige elektronische Bauteile auf.
Erste experimentelle Details werden im April 2007 in den renommierten IEEE Electron Device Letters unter dem Titel „A Graphene Field-Effect Device“ von Dr. M.C. Lemme et al. veröffentlicht.
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